清潔專區
研磨廢水管路清潔、酸鹼排氣管路清潔、廢水處理管路清理、排煙風管清理、廢熱排氣管路清潔、一般排氣管路清潔、
活性碳塔有機排氣管路清潔、排放管路清潔…等。
在半導體廠製程中含有矽(Si),製程過程中會有含矽(Si)的反應物,製程的廢氣會經過燃燒器(Burn local scrubber)處理,
處理後會產生細小白色氧化物(SiO2),白色的粉末經由排氣系統的管路容易造成管路的阻塞,造成排氣靜壓不足。
有一些粉末會經由排氣管路至中央洗滌塔,造成排氣風車的不平衡引起風車振動,所以本廠有增設靜電式氣膠處理設備(Electrostatic PrecipitatorExpectation),
由粉末的發生源設置集塵處理設備,把大份的粉末處理下來降低後段的管路阻塞的機會、減少清理管路的次數,同時可以減少排氣系統的白煙現象。
(1) 酸鹼排氣:全程必須使用耐酸鹼的材質配管以及設備,再經過水洗加藥中和,才可進行排放。
(2) 有機排氣:必須有消防設施以防止氣爆,並經過活性碳塔過濾,才可排放氣體。
(3) 一般排氣&廢熱排氣:較無特殊規範,一般以鍍鋅鐵管為主。
通常這些通風管路都必須定期清潔,管路尾端會將排氣排放到scrubber,我們除了 風管清潔,也有提供scrubber維護保養清洗工程哦!
★洗滌塔維護保養 ★無塵室清潔擦拭 ★廢水池局限空間清洗
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